ข้อมูลจำเพาะของ กปภ. สำหรับการขัดเวเฟอร์ซิลิคอน
PWA=อลูมินาสีขาวเกล็ดเลือด
เจิ้งโจว Haixu Abrasives Co. , ltd ก่อตั้งขึ้นในปี 1999
ตั้งแต่ปี 2018 เราเริ่มผลิต อลูมินาเกล็ดเลือดสีขาว รวมถึงขนาด PWA40 PWA35 PWA25 PWA20 PWA15 PWA12 PWA9 PWA5 PWA3
ข้อกำหนดของ กปภ. สำหรับการขัดเวเฟอร์ซิลิคอนมีดังนี้:
PSD (การกระจายขนาดอนุภาค)
ขนาด | ดีวี-0 | ดีวี-3 | ดีวี-50 | ดีวี-94 |
เอ็มซีเอ15 | <25.2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
เอ็มซีเอ12 | <20.3 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
เอ็มซีเอ09 | <16.3 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
องค์ประกอบทางเคมี
อัล2หรือ3 | SiO2 | เฟ2O3 | โดย2ของ |
>99.0 | <0.2 | <0.1 | <1 |