ขนาดอะลูมิเนียมออกไซด์สำหรับการขัดเวเฟอร์ซิลิคอน
อะลูมิเนียมออกไซด์ในท้องตลาดมีหลายประเภท
เนื่องจากเทคนิคการผลิต จึงมีอะลูมิเนียมออกไซด์ที่ผ่านการเผาและอะลูมิเนียมออกไซด์หลอมละลาย
ตามเฟสของผลึกจะมีα-อลูมิเนียมออกไซด์และβ-อลูมิเนียมออกไซด์
แล้วอลูมิเนียมออกไซด์ชนิดใดที่ใช้ขัดเวเฟอร์ซิลิคอน?
เป็นอลูมิเนียมออกไซด์เผาเกล็ดเลือดสีขาวชนิดหนึ่งเจิ้งโจว haixu abrasive co., ltd ผลิตมาหลายปีซึ่งคุณภาพคล้ายกับ JAPAN FUJIMI และ USA Microgrit WCA
ขนาด haixu abrasives ที่ผลิตมีดังนี้?
| ขนาด | D0 | D3 | D50 | D94 |
| HX-PWA/WCA40 | <77.6 | 39-44.6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
| HX-PWA/WCA35 | <64.2 | 35.4-39.8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
| HX-PWA/WCA30 | <50.4 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
| HX-PWA/WCA25 | <40.1 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
| HX-PWA/WCA20 | <32.0 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
| HX-PWA/WCA15 | <25.2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
| HX-PWA/WCA12 | <20.3 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
| HX-PWA/WCA09 | <16.3 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
| HX-PWA/WCA05 | <12.5 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2.55-3.05 |
| HX-PWA/WCA03 | <10.0 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |
ในนั้น HX-PWA/WCA09,HX-PWA/WCA12 และ HX-PWA/WCA15 ใช้สำหรับการขัดเวเฟอร์ซิลิคอนอย่างกว้างขวาง
