อะลูมิเนียมออกไซด์ชนิดใดที่ใช้สำหรับการขัดผิวด้วยซิลิคอนเวเฟอร์

มีอลูมิเนียมออกไซด์หลายชนิดในตลาดซึ่งใช้ในด้านต่างๆ

สำหรับการขัดแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน มักใช้เกล็ดเลือดอะลูมิเนียมออกไซด์เผาสีขาว ซึ่งเป็นแผ่นรูปร่างและข้อกำหนดดังต่อไปนี้:

องค์ประกอบทางเคมีเฉลี่ย (ทั่วไป)             

อัล₂ O ₃                                                  > 99.0%

SiO2 _<                                                   0.2%

Fe2O3 <0.1%

Na2O _＜ 1%

คุณสมบัติทางกายภาพ ( TYPIC AL )  

ความแข็งโมห์ 9.0

ความถ่วงจำเพาะ > 3.9 ก./ซม. ³

รูปร่างจาน-รูปร่าง

การกระจายขนาดอนุภาค